近日，温州先锋阀门有限公司自主研发的“HGU高性能半导体用球阀”获得国家实用新型专利授权(专利号:ZL202422218105.6)。该产品专为半导体制造等高真空应用场景设计，在结构设计、密封性能与国产适配性等方面取得关键突破，为实现核心工艺环节的国产替代提供了有力支撑。
长期以来，高真空阀门领域主要由欧美日等国外企业主导。HGU球阀的推出，标志着国内企业在关键部件性能上取得实质进展。产品支持DN63至DN100口径，兼容GB4892/IS0-KF与GB6070/S0-F等多种连接标准，适配各类国产半导体设备，具备良好的集成性。根据企业方面提供的数据，产品在交付周期上可比进口产品缩短30%，整体成本降低约60%，并在长三角、珠三角等产业集聚区提供最快48小时现场响应服务，大幅提升本土供应效率。 |